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型号：BTF-1700C-CVD
设备特点：
此款1700℃温(wen)(wen)CVD体(ti)(ti)(ti)统(tong)(tong)软(ruan)(ruan)件，是由1700度管式(shi)炉、三路高(gao)效(xiao)率(lv)数据(ju)蒸(zheng)汽流量计体(ti)(ti)(ti)统(tong)(tong)软(ruan)(ruan)件及(ji)其(qi)國產(chan)高(gao)蒸(zheng)空(kong)体(ti)(ti)(ti)统(tong)(tong)软(ruan)(ruan)件（或(huo)选(xuan)装低蒸(zheng)空(kong)体(ti)(ti)(ti)ꦿ统(tong)(tong)软(ruan)(ruan)件）所(suo)分ℱ为。此专(zhuan)用(yong)机器(qi)生(sheng)产(chan)设备最(zui)主要(yao)在:蒸(zheng)空(kong)或(huo)互动(dong)性烧结工艺、基片电镀(du)等要(yao)烧水温(wen)(wen)较(jiao)高(gao)的(de)研究大(da)环境. 专(zhuan)用(yong)机器(qi)生(sheng)产(chan)设备能(neng)力(li)成(cheng)长(zhang)、高(gao)效(xiao)率(lv)信得过，温(wen)(wen)场透亮，框架合(he)理合(he)法，气路运用(yong)液(ye)晶显示屏屏触控(kong)游(you)戏界面，可使工作体(ti)(ti)(ti)统(tong)(tong)异常容易、以便于；专(zhuan)用(yong)机器(qi)生(sheng)产(chan)设备的(de)贴心的(de)售后服(fu)务能(neng)力(li)数据(ju)，30段程序控(kong)制(zhi)器(qi)学(xue)习温(wen)(wen)控(kong)仪体(ti)(ti)(ti)统(tong)(tong)软(ruan)(ruan)件更要(yao)明了,使一(yi)整个研究的(de)加载情(qing)形尽在您的(de)驾(jia)驭内。
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调温区参数表： | 炉管尺寸大小：Φ60/80×1000mm（公称直径可(ke)以） 调温开关元件：硅(gui)钼棒 加热区长度：300mm 推荐升温速度： 1400℃以下≤10℃/min，1400℃到1600℃≤5℃/min 载(zai)荷(he)系(xi)数马力：5.2 KW 外壳长度：610×440×720 mm 的标准零件：高纯1支，2对，1套，2套，1副，1支，小商业保险1个； 封口装置(zhi)：炉管两端(duan)标配不锈钢管封ꩵ口法兰(lan)片（包扩精细针阀，游针式真空度负(fu)压(🐲ya)表和连接(jie)管式宝塔(ta)嘴接(jie)线(xian)头） 服(fu)务器端口可按其实采用突出。 |
气路系统参数：
| 质量流量计参考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可选） 准(zhun)确度(du)：±1.5% 线性：±0.5～1.5% 重复精度：±0.2% 响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec 工(gong)作压差范围：0.1～0.5 MPa 大(da)压力：3MPa 接口(kou)：Φ6,1/4'' 显示(shi)：4位数字显示(shi) 工(gong)作环(huan)境温度:5~45高纯气体 &♛nbsp; &nb💞sp; 内(nei)外双抛不锈钢管：Φ6 压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格(ge) 截止阀(fa)：Φ6 无线连线接(jie)头性质：双卡套(tao)装(zhuang)饰管线接(jie)头。 可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计。 |
低真空系统参数：
| 国产车油阀规格型号(hao)：BSV-10 抽速：10m³/h 极限真空度：5*10-1pa 供电：220v 50hz 变频电动(dong)机(ji)功率：0.4kw 进排(pai)气阀门衔接口：KF25 用用油量：1.1L 主轴电机时速：1440rpm 的工(gong)作(zuo)周围环境(jing)溫度(du)：5-40℃ 嘈音：≤56db 电阻真空计参数： 1.选用规管：ZJ-52T电容规， 2.测量范围： 10 5 ～10 -1 Pa， 3.侧量路数： 1路 4.控制范围： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， 5.掌控形式：按钮开关产品接点打(da)印输出，电流能力素质 AC220V/3A (或DC28V/3A)接触式电ജ流， 6.电源线： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.功能消耗： 20W 选择波浪管(guan)人工操作ꦆ挡条阀(fa)✤与负压程序接(jie)(jie)接(jie)(jie)接(jie)(jie)。 |
高真空系统参数：
| 室内空气(qi)相比较含(han)水率(lv)：≤85% 事情的电(dian)压：AC220V±10% 50/60HZ 电机功率：1KW 系统整体极限真空度：10-5Pa 实验真空度：10-3Pa 造型(xing)长度：850×600×650mm 机械泵: 抽气速度：10m³/h 容用油量：1.1L 发电机耗油(you)率：400W 极限压强：6×10-2Pa 分子泵: 抽气速(su)率单位：100L/S 极限压强：6×10-6Pa 开机时间段：＜2min 额定的时速：4300转(zhuan)/分 冷(leng)去习惯：氛围溫度(du)5-32🏅℃时(shi)，风冷(leng)；5-40℃时(shi)，油(you)冷(leng)。 分子泵控制器: 电(dian)阻值：220V±22V 开机启动电流值：≤7A 投入頻率：47HZ—63HZ 大输送马力(li)：≤150W 大加速(su)器电阻：≤40V 提速时间间隔：≤3min 率（双速）：迅速705HZ±10HZ ไ; 低速行驶430HZ±5HZ 复合真空计: 测定路(lu)数：2路(lu)（阻值(zhi)规(gui)(gui)、电离(li)规(gui)(gui)各꧒1路(lu)） 工作的基本(ben)模式：人工机械/全自(zi)动 热敏电阻象限叁数 规管型号规格：ZJ-52T电(dian)阻器(qi)规 测量范围：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 电离单无参数值 规管(guan)技术参数：ZJ-27电离规 可测范围：5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa 规管除气(qi)措施：焦耳(er)去(qu)气(qi) 某些产品参数 把控好路数：4路 的管(guan)理玩法：点动或区域环境(jing)的管(guan)理/带掉(diao)电(dian♏)ꩵ回(hui)忆 有效控制精确(que)：±1% 抽样时期：1S 电：220V±10% 50HZ 功能损耗：50W 应(ying)用工作环(huan)境摄氏度：0℃~45℃ 温度湿度：≤85% 联系压缩空气管: 采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s 主要🐻(yao)包括波(bo)浪纹管人工(gong)手(sho𝄹u)动开启机(ji)组隔(ge)板(ban)阀与(yu)重力(li)作(zuo)用机(ji)系统相接接。 |
备注： | 可根据工艺要求选配低真空或高真空系统。 |
